金屬膜厚儀使用說明
性能優(yōu)勢:
1.精密的三維移動平臺
2.的樣品觀測系統(tǒng)
3.先進(jìn)的圖像識別
4.輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測
5.四種微孔聚焦準(zhǔn)直器,自動切換
6.雙重保護(hù)措施,實(shí)現(xiàn)無縫防撞
7.采用大面積高分辨率探測器,有效降低檢出限,提高測試精度
優(yōu)勢:
全自動智能控制方式,一鍵式操作!
開機(jī)自動自檢、復(fù)位;
開蓋自動退出樣品臺,升起Z軸測試平臺,方便放樣;
關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺,下降Z軸測試平臺并自動完成對焦;
直接點(diǎn)擊全景或局部景圖像選取測試點(diǎn);
點(diǎn)擊軟件界面測試按鈕,自動完成測試并顯示結(jié)果。
金屬膜厚儀使用說明
技術(shù)指標(biāo):
分析元素范圍:硫(S)~鈾(U)
同時檢測元素:zui多24個元素,多達(dá)5層鍍層
檢出限:可達(dá)2ppm,zui薄可測試0.005μm
分析含量:一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度:一般在50μm以內(nèi)(每種材料有所不同)
重復(fù)性:可達(dá)0.1%
穩(wěn)定性:可達(dá)0.1%
SDD探測器:分辨率低至135eV
先進(jìn)的微孔準(zhǔn)直技術(shù):zui小孔徑達(dá)0.1mm,zui小光斑達(dá)0.1mm
樣品觀察:配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準(zhǔn)直器:0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合
儀器尺寸:690(W)x 575(D)x 660(H)mm
樣品室尺寸:520(W)x 395(D)x150(H)mm
樣品臺尺寸:393(W)x 258 (D)mm
X/Y/Z平臺移動速度:額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度:小于0.1um
操作環(huán)境濕度:≤90%
操作環(huán)境溫度:15℃~30℃
測定方法
(1)探頭的選擇和安裝方法:確認(rèn)電源處于OFF狀態(tài),與測定對象的質(zhì)地材質(zhì)接觸,安裝LEP-J或LHP-J。
(2)調(diào)整:確認(rèn)測定對象已經(jīng)被調(diào)整。未調(diào)整時要進(jìn)行調(diào)整。
(3)測定:在探頭的末端加一定的負(fù)荷,即使用[一點(diǎn)接觸定壓式]。抓住與
測定部接近的部分,迅速在與測定面成垂直的角度按下。下述的測定,每次都
要從探頭的前端測定面開始離開10mm以上。使用管狀的東西連續(xù)測定平面時,如果采用探頭適配器,可以更加穩(wěn)定地進(jìn)行測定。