在化學,電子,電力,金屬和其他工業(yè)中,為了實現各種材料的保護或裝飾,通常使用噴涂,有色金屬覆蓋,磷化和陽極氧化。這樣,涂層,鍍層,覆層,粘貼或化學產生的膜的概念被稱為“涂層”。包層的厚度測量已成為金屬加工行業(yè)用戶進行成品質量檢查所需的重要過程,并且是滿足高質量標準的手段。目前,涂層的厚度通常根據國內外統(tǒng)一的國際標準進行測量。隨著材料物理性能研究的逐步發(fā)展,涂層的無損檢測方法和儀器的選擇變得越來越重要。
一六測厚儀的基本工作原理是,當測量頭與被測圖案接觸時,測量頭裝置產生的高頻電磁場會使測量頭下方的金屬導體產生渦流,其幅度和相位是導體和探頭之間非導電涂層厚度的函數。即,由渦電流產生的交變電磁場將改變探針參數,并且探針參數變量的大小以及電信號轉換處理可以獲得待測涂層的厚度。那么,影響其測量精度的原因是什么呢?
1、當覆蓋層的厚度大于25μ時,誤差大約與覆蓋層的厚度成正比;
2、金屬的電導率對測量有影響,它與金屬材料的組成和熱處理方法有關;
3、一六測厚儀要求母材具有臨界厚度,只有厚度大于該厚度時,測量才不會受到母材厚度的影響;
4、測厚儀在圖案測量上有一個邊緣,即在圖案的邊緣或內角附近的測量是不可靠的;
5、樣品的曲率對測量有影響,并且隨著曲率半徑的減小,這種影響將顯著增加;
6、母材和覆蓋層的表面粗糙度影響測量的準確性和粗糙度,影響會增加;
7、一六測厚儀對防止探針接觸覆蓋層表面的粘附物質敏感,因此在測量之前應清除探針和覆蓋層表面上的污垢;保持探頭和測試表面在恒定壓力下垂直接觸。